Կիսահաղորդչային նյութերի միկրոկառուցվածքի վերլուծություն և գնահատում
Ծառայության ներածություն
Լայնածավալ ինտեգրալային սխեմաների շարունակական զարգացման հետ մեկտեղ չիպերի արտադրության գործընթացը դառնում է ավելի ու ավելի բարդ, իսկ կիսահաղորդչային նյութերի աննորմալ միկրոկառուցվածքը և կազմը խոչընդոտում են չիպի թողունակության բարելավմանը, ինչը մեծ մարտահրավերներ է բերում նոր կիսահաղորդչային և ինտեգրված կիրառմանը: միացման տեխնոլոգիաներ.
GRGTEST-ը տրամադրում է կիսահաղորդչային նյութի միկրոկառուցվածքի համապարփակ վերլուծություն և գնահատում, որն օգնում է հաճախորդներին բարելավել կիսահաղորդչային և ինտեգրալ սխեմայի գործընթացները, ներառյալ վաֆլի մակարդակի պրոֆիլի և էլեկտրոնային վերլուծության պատրաստում, կիսահաղորդիչների արտադրության հետ կապված նյութերի ֆիզիկական և քիմիական հատկությունների համապարփակ վերլուծություն, կիսահաղորդչային նյութերի աղտոտման վերլուծության ձևավորում և իրականացում: ծրագիրը։
Ծառայության շրջանակը
Կիսահաղորդչային նյութեր, օրգանական փոքր մոլեկուլային նյութեր, պոլիմերային նյութեր, օրգանական/անօրգանական հիբրիդ նյութեր, անօրգանական ոչ մետաղական նյութեր
Ծառայության ծրագիր
1. Չիպային վաֆլի մակարդակի պրոֆիլի պատրաստում և էլեկտրոնային վերլուծություն՝ հիմնված կենտրոնացված իոնային ճառագայթների տեխնոլոգիայի (DB-FIB), չիպի տեղական տարածքի ճշգրիտ կտրման և իրական ժամանակի էլեկտրոնային պատկերների վրա, կարող են ձեռք բերել չիպի պրոֆիլի կառուցվածքը, կազմը և այլն: գործընթացի կարևոր տեղեկատվություն;
2. Կիսահաղորդիչների արտադրության նյութերի ֆիզիկական և քիմիական հատկությունների համապարփակ վերլուծություն, ներառյալ օրգանական պոլիմերային նյութերը, փոքր մոլեկուլային նյութերը, անօրգանական ոչ մետաղական նյութերի կազմի վերլուծությունը, մոլեկուլային կառուցվածքի վերլուծությունը և այլն;
3. Կիսահաղորդչային նյութերի աղտոտիչների վերլուծության պլանի ձևավորում և իրականացում:Այն կարող է օգնել հաճախորդներին լիովին հասկանալ աղտոտիչների ֆիզիկական և քիմիական բնութագրերը, այդ թվում՝ քիմիական կազմի վերլուծություն, բաղադրիչի բովանդակության վերլուծություն, մոլեկուլային կառուցվածքի վերլուծություն և այլ ֆիզիկական և քիմիական բնութագրերի վերլուծություն:
Ծառայության իրեր
| Ծառայությունտիպ | Ծառայությունիրեր |
| Կիսահաղորդչային նյութերի տարրական կազմի վերլուծություն | l EDS տարրական վերլուծություն, լ ռենտգենյան ֆոտոէլեկտրոնային սպեկտրոսկոպիա (XPS) տարրական վերլուծություն |
| Կիսահաղորդչային նյութերի մոլեկուլային կառուցվածքի վերլուծություն | լ FT-IR ինֆրակարմիր սպեկտրի վերլուծություն, լ ռենտգենյան դիֆրակցիոն (XRD) սպեկտրոսկոպիկ վերլուծություն, l Միջուկային մագնիսական ռեզոնանսային փոփ վերլուծություն (H1NMR, C13NMR) |
| Կիսահաղորդչային նյութերի միկրոկառուցվածքի վերլուծություն | l Կրկնակի կենտրոնացված իոնային ճառագայթի (DBFIB) հատվածի վերլուծություն, l Դաշտային արտանետումների սկանավորման էլեկտրոնային մանրադիտակը (FESEM) օգտագործվել է մանրադիտակային մորֆոլոգիան չափելու և դիտարկելու համար, l Ատոմային ուժի մանրադիտակ (AFM) մակերեսի մորֆոլոգիայի դիտարկման համար |
